• Вакуумная техника: Научно-технический сборник. Выпуск 2. [Pdf-ZIP]
  (Казань: Татарское книжное издательство, 1970)
  

Аннотация издательства: В
сборник включены статьи, посвященные вопросам изучения физических
явлений и процессов в вакууме, исследованию, расчету и конструированию
вакуумных насосов и установок, а также вопросам метрики и течеискания в
неплотностях вакуумных систем.
Сборник может быть полезен для научных работников и инженеров, занимающихся вакуумной техникой.

• Рабочие жидкости для вакуумных насосов. [Djv-ZIP] Обзорная информация. Авторы: Л.М.Аммосова, А.Б.Цейтлин, А.Т.Ширяев.
  (ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1969. - Криогенное и вакуумное машиностроение. Серия ХМ-6)
  
  

Аннотация издательства:
Проанализированы зарубежные и отечественные материалы по производству
рабочих жидкостей для вакуумных механических, бустерных, диффузионных
паромасляных и турбомолекулярных насосов опубликованные в 1984-1987 гг.
Приведены
различные физико-химические характеристики и рассмотрены области
применения рабочих жидкостей, выпускаемых за рубежом и в СССР.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся вопросами вакуумной техники.
Обзор составлен по опубликованным отечественным и зарубежным материалам.

• Вакуумная техника: Справочные материалы. [Djv-ZIP]
  

• Комбинированные электроразрядные геттерно-ионные вакуумные насосы. [Djv-ZIP] Обзорная информация. Авторы: Ш.А.Ахманов, М.Ш.Галимарданов, С.Д.Островка, И.П.Решетняк, Р.X.Сайфуллин.
  (М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1979. - Криогенное и вакуумное машиностроение. Серия ХМ-6)
  
  

Аннотация издательства: В
обзоре систематизированы сведения по комбинированным электроразрядным
геттерно-ионным насосам и новейшим техническим решениям, касающимся
магниторазрядных и геттерных испарительных насосов, их достоинства и
недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические
характеристики. В обзоре использованы опубликованные отечественные и
зарубежные издания и патентные материалы.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся вопросами создания безмасляного сверхвысокого вакуума.

• Вакуум-насосы в химической промышленности. [Djv-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1964)
  
  

Аннотация издательства: В
книге обобщен и систематизирован материал по всем типам отечественных
вакуум-насосов, применяемых в химической промышленности. Основное
внимание уделено описанию устройства, принципу действия, монтажу и
эксплуатации вакуум-насосов. Приводятся методы защиты вакуум-насосов от
действия агрессивных сред и некоторые примеры расчета вакуумных
установок.
Материал книги рассчитан на работников химической
промышленности, занимающихся подбором и эксплуатацией вакуумных
насосов, а также может быть использован студентами при курсовом и
дипломном проектировании.

• Современная вакуумная техника. [Djv-ZIP] Сборник статей. Перевод с английского под общей редакцией Н.В.Черепнина.
  (М.: Издательство Иностранной литературы, 1963)
  
  

Аннотация издательства:
Настоящий сборник составлен из докладов, прочитанных на 7-м
национальном симпозиуме по вакуумной технике (США, октябрь 1960 г.)
Описываются вопросы конструирования насосов, вакуумных установок и их
деталей, методы и аппаратура для определения газосодержания материалов,
результаты физических исследований ионно-сорбционных процессов и
процессов распыления материалов в вакууме ионами различных энергий,
методы и аппаратура для получения тонких пленок, вопросы вакуумной
метрики
Сборник предназначен для инженерно-технических и научных
работников, занимающихся разработкой и изготовлением вакуумного
оборудования и электровакуумных приборов, а также исследованиями в этих
областях науки и техники. Сборник полезен также специалистам, которые в
своей работе соприкасаются с использованием вакуумного оборудования.

• Высоковакуумные адсорбционные насосы. [Pdf-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1973)
  
  

Аннотация издательства: В
книге рассмотрены природа адсорбционного взаимодействия и основные
уравнения изотерм адсорбция, приведены краткие характеристики
адсорбентов, используемых в адсорбционных насосах.
Обобщены
уравнения кинетики наиболее характерных адсорбционных процессов,
протекающих в реальных условиях работы адсорбционных насосов. Приведен
обзор методов экспериментального исследования равновесия и кинетики
процессов адсорбции газов.
Обобщены экспериментальные данные по
изотермам адсорбции газов на микропористых адсорбентах, позволяющие
рассчитать предельное давление насоса. Подробно рассмотрены общие
закономерности изменения давления в адсорбционном насосе при
поступлении газа с постоянной скоростью, что позволяет выбрать наиболее
эффективный адсорбент и рассчитать скоростную характеристику насоса в
динамической вакуумной системе. Приведены наиболее рациональные
конструкции насосов, даны рекомендации по их эксплуатации.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников, занимающихся конструированием и эксплуатацией вакуумного оборудования.

• Основы адсорбционной техники. [Djv-ZIP] Выборочно.
  

  3. Основные виды промышленных адсорбентов.

  (М.: Химия, 1976)
  
  

Аннотация издательства: Книга
посвящена теории и практике адсорбции. В ней данный процесс рассмотрен
как комплекс равновесных и кинетических закономерностей
адсорбционно-десорбционного цикла и вспомогательных стадий.
Значительное место уделено описанию технологии и аппаратурного
оформления, а также технико-экономическим показателям современных
адсорбционных процессов очистки, осушки и разделения газов, в том числе
в движущемся слое адсорбента. Рассмотрены новые каталитические процессы
на основе промышленных адсорбентов. Показано большое значение
адсорбционных процессов для защиты окружающей среды.
Книга
рассчитана на инженерно-технических и научных работников, занимающихся
исследованием, проектированием и применением процессов адсорбции на
химических и смежных с ними производствах. Она может быть полезна для
преподавателей и студентов химико-технологических вузов.

• Конструкции насосов для криогенных жидкостей. [Djv-ZIP] Обзорная информация. Авторы: В.В.Буренин, В.П.Дронов, Е.В.Воробьев.
  (М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1981. - Насосостроение. Серия ХМ-4)
  
  

Аннотация издательства: В
обзоре рассмотрены современные и перспективные конструкции
отечественных и зарубежных насосов для перекачивания криогенных
жидкостей, а также криогенных вакуумных насосов. Приведены оригинальные
конструктивные решения отдельных видов насосов для криогенных жидкостей.
Обзор
предназначен для инженерно-технических и научных работников,
занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией насосов
для криогенных жидкостей.

• Безмасляные вакуумные насосы. [Pdf-ZIP]
  (Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1980)
  
  

Аннотация издательства:
Рассмотрены теоретические и практические вопросы разработки и
эксплуатации безмасляных вакуумных насосов, которые в силу своего
принципа действия не загрязняют откачиваемые объекты парами масла и
продуктами его разложения. Приведены их технико-экономические
характеристики, показаны основные достоинства и недостатки. Особое
внимание уделено криогенным методам откачки в широком диапазоне
изменения давления. Изложены основы расчета криогенных вакуумных
насосов и приведены наиболее рациональные конструкции. Описаны
соответствующие системы охлаждения.
Книга предназначена для
инженерно-технических работников заводов, научно-исследовательских
институтов и лабораторий, занимающихся проектированием и эксплуатацией
безмасляных средств откачки.

• Вакуум электрофизических установок и комплексов. [Djv-ZIP] Авторы: А.А.Глазков, Г.Л.Саксаганский.
  (М.: Энергоатомиздат, 1985)
  
  

Аннотация издательства:
Рассмотрены физические принципы и конструктивно-технологические вопросы
создания вакуумных систем ускорителей, термоядерных установок и
электрофизических комплексов нового поколения. Проанализированы
процессы взаимодействия ускоренных пучков и плазмы с остаточным газом и
стенками вакуумных камер. Приведены примеры вакуумных систем крупнейших
ускорительно-накопительных комплексов и термоядерных установок.
Для
научных работников и инженеров по электрофизическому аппарато- и
приборостроению, ядерной, электронной и вакуумной технике,
экспериментальной физике, а также для преподавателей, аспирантов и
студентов.

• Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. [Djv-ZIP] Авторы: Е.Берлин, С.Двинин, Л.Сейдман.
  (Москва: Техносфера, 2007. - Мир материалов и технологий)
  
  

Аннотация издательства: В
книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства
изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления
тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных
напылительных установок, плазмохимических установок для травления
тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны
математические модели, способы управления и примеры использования
реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения
среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного
напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы
конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого
давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок
и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на
специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро
и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой
и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования
для их производства.

• Вакуум и его применение. [Djv-ZIP]
  (М.: Трудрезервиздат, 1958. - Новая техника и передовые методы труда)
  
  

Аннотация издательства:
Брошюра дает некоторые элементарные представления о вакууме и важнейших
свойствах высокоразреженного газа, знакомит читателя с техникой
получения и измерения вакуума, с устройством вакуумных систем и
использованием вакуума в различных областях науки, техники и
промышленного производства.
Брошюра рассчитана на преподавателей и
мастеров учебных заведений трудовых резервов Может быть полезна также
инженерно-техническим работникам, которым по роду своей работы
приходится иметь дело с различного рода вакуумной аппаратурой.

• Вакуумное нанесение тонких пленок. [Djv-ZIP] Под общей редакцией Р.А.Нилендера.
  (М.: Энергия, 1967)
  
  

Аннотация издательства: В
книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы
измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные
области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и
составу остаточной среды при термическом испарении и катодном
распылении и описываются современные средства получения и измерения
вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении
тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся
конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного
оборудования и получением тонких пленок.

• Вакуумные насосы и агрегаты. [Djv-ZIP] Под редакцией Р.А.Нилендера.
  (М.-Л.: Госэнергоиздат, 1957)
  
  

Аннотация издательства: В
книге приводится описание принципов работы и конструктивного оформления
вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных
агрегатов отечественного производства с указанием ряда их
эксплуатационных данных.
Книга рассчитана на лиц, занимающихся
выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может
служить также учебным пособием для студентов высших учебных заведений,
специализирующихся в области электровакуумной техники, при
проектировании различных вакуумных установок.

• Геттерные и ионно-геттерные насосы. [Djv-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1977)
  
  

Аннотация издательства: В брошюре-лекции изложены принципы действия и основные характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов.
Рассмотрены
наиболее распространенные типы насосов с термическим испарением
геттера, магнитных электроразрядных насосов и комбинированных насосов.
Описаны
методы расчета и проектирования, конструктивно-технологические решения
и важнейшие параметры насосов, особенности их применения и эксплуатации.

• Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники. [Djv-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1987)
  
  

Аннотация издательства: В
брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной
среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и
вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния
различных факторов на параметры процессов осаждения и травления.
Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки
химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды
насосов.

• Основы вакуумной техники. [Djv-ZIP] Учебник. Издание третье, переработанное.
  (М.-Л.: Государственное энергетическое издательство, 1957)
  
  

Аннотация издательства:
Основное содержание книги посвящено технике получения высокого вакуума
и его измерения, методам нахождения мест натекания, устройству
вакуумных систем и их расчету. Предварительно сообщаются необходимые
сведения по физике газов и в заключение даны основные сведения по
вакуумной гигиене.
Материал излагается в основном применительно к
технике откачки и вакуумной обработке электровакуумных приборов и
сопровождается задачами и практическими примерами. Приводится также ряд
сведений по вакуумтехническим вопросам, не связанным непосредственно с
производством электровакуумных приборов.
Книга рассчитана на студентов техникумов, а также может служить пособием для работников, имеющих дело с вакуумной техникой.

• Вакуумные и криогенные системы термоядерных установок и реакторов. [Djv-ZIP] Учебное пособие для вузов.
  (М.: Издательство МЭИ, 2003)
  
  

Аннотация издательства:
Приведены физические основы получения безмасляного вакуума, описаны
методы получения низких температур, представлена методика расчета и
проектирования вакуумных систем и криогенных вакуумных насосов, описаны
вакуумные и криогенные системы термоядерных установок.
Для
студентов, обучающихся по специальностям 073600 «Техническая физика
термоядерных реакторов и плазменных установок» и 070200 «Техника и
физика низких температур».

• Многокомпонентные вакуумные покрытия. [Pdf-ZIP] Производственное издание. Авторы: А.И.Костржицкий, О.В.Лебединский.
  (М.: Машиностроение, 1987)
  
  

Аннотация издательства:
Изложены теоретические основы способов получения покрытий из сплавов в
вакууме, приведены основы технологии нанесения различных покрытий из
сплавов на металлы и неметаллы. Обобщены данные исследований влияния
условий осаждения покрытий на их пористость и защитные свойства, а
также электрохимического поведения покрытий в агрессивных средах.
Рассмотрены методы получения вакуумных многокомпонентных пленок и
покрытий высокой проводимости.
Изложены основы технологии ионного осаждения, описано его применение для создания защитных вакуумных покрытий.
Для
инженерно-технических и научных работников, занимающихся вопросами
защиты металлов от коррозии, для специалистов в области вакуумной
техники и технологии.

• Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. [Pdf-ZIP] Справочное издание. Авторы: А.И.Костржицкий, В.Ф.Карпов, М.П.Кабанченко, О.Н.Соловьева.
  (М.: Машиностроение, 1991)
  
  

Аннотация издательства:
Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией
в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного
оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки
поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по
химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей
подложек и внутрикамерных устройств. Рассмотрено получение покрытий
ионным и термическим напылением металлов и сплавов, карбидов, нитридов
и их аналогов.
Для операторов 3 - 6-го разрядов установок по
нанесению покрытий в вакууме, может быть полезна инженерно-техническим
работникам соответствующих отраслей.

• Откачник-вакуумщик. [Pdf-ZIP] Учебник для технических училищ. Издание 2-е, переработанное и дополненное. Авторы: Ф.Г.Закиров, Е.А.Николаев.
  (М.: Высшая школа, 1977. - Профтехобразование. Вакуумная техника)
  
  

Аннотация издательства: В
книге рассмотрены основные элементы вакуумных систем, включая средства
откачки и контрольно-измерительные приборы. Дано описание различных
видов вакуумно-термического оборудования и приемов их обслуживания,
объяснена сущность технологических процессов откачки электровакуумных
приборов и термической обработки стекла. Особое место в книге занимают
вопросы электровакуумной гигиены, организации труда, техники
безопасности, эргономики и технической эстетики на предприятиях
электронной промышленности.
Во втором издании книги подверглись
коренной переработке вопросы, связанные с контрольно-измерительными
приборами и откачным оборудованием для системы АСУТП.

• Механические вакуумные насосы. [Djv-ZIP] Под редакцией М.И.Меньшикова.
  (М.-Л.: Госэнергоиздат, 1959)
  
  

Аннотация издательства: Основное
содержание книги посвящено описанию устройства, эксплуатации и методов
испытаний механических вакуумных насосов с масляным уплотнением.
Описываются также двухроторные (механические бустерные) вакуумные
насосы. Предварительно сообщаются краткие сведения из
молекулярно-кинетической теории газов, рассматриваются общие понятия
вакуумной техники и законы течения разреженных газов через отверстия и
трубы. Наряду с механическими насосами среднего вакуума кратко описаны
низковакуумные многопластинчатые и высоковакуумные (молекулярные и
пароструйные) насосы, а также охлаждаемые ловушки. В заключение
рассмотрены некоторые вопросы расчета простейших вакуумных систем.
Материал
книги рассчитан на широкий круг лиц, занимающихся эксплуатацией
механических вакуумных насосов в промышленности и лабораториях, а
некоторые ее разделы могут оказаться полезными для инженеров и научных
работников, которым приходится сталкиваться с вопросами получения
среднего и высокого вакуума.

• Эксплуатация вакуумного оборудования. [Pdf-ZIP] Авторы: В.И.Кузнецов, Н.Ф.Немилов, В.Е.Шемякин. Под общей редакцией Н.А.Нилендера.
  (М.: Энергия, 1978)
  
  

Аннотация издательства: В
книге кратко рассмотрены основные положения вакуумной техники.
Описываются принципы действия, правила и приемы эксплуатации
механических, пароструйных и сорбционных насосов; описываются наиболее
употребительные приборы для измерения давления разреженных газов и
различные элементы вакуумных систем. Сообщаются необходимые сведения по
технике течеискания, конструкции и монтажу вакуумных систем, измерению
характеристик вакуумного оборудования. Освещены вопросы техники
безопасности.
Книга предназначена для лиц, обслуживающих вакуумное оборудование и имеющих среднее и среднее техническое образование.

• Вакуумная техника: средства откачки, их выбор и применение. [Djv-ZIP] Учебное пособие. Авторы: В.И.Курашов, М.Г.Фомина.
  (КГТУ, 1997)
  
  

Аннотация издательства:
Рассмотрены проблемы выбора высоковакуумного оборудования, исходя из
его основных технических и эксплуатационных характеристик, для
различных вакуумно-технологических процессов.
Предназначено для
студентов специальности «Вакуумная техника физических установок»,
аспирантов, соискателей, инженеров и исследователей, использующих в
своей работе высоковакуумное оборудование.

• Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки. [Djv-ZIP] Сборник научных трудов. Под редакцией С.С.Кутателадзе.
  

  Предисловие
  Ребров А.К. Состояние теории и возможные пути развития струйной вакуумной техники
  Косов
  А.В. Исследование взаимодействия струй низкой плотности за
  сверхзвуковыми коническим и зонтичным соплами с газом окружающего
  пространства
  Паклин Б.Л. Неравновесные эффекты при взаимодействии струи с откачиваемым газом
  Беликов
  А.Е., Булгаков А.В., Ребров А.К., Сковородко П.А., Станкус Н.В.
  Расчетно-экспериментальное исследование струйных течений паров
  вакуумных масел
  Сковородко П.А., Чекмарев С.Ф. Численный метод и
  результаты расчета течения рабочего газа в проточной части струйного
  вакуумного насоса
  Садыков К.С. Исследование течения паров вакуумного масла ВМ-1 в конических сверхзвуковых соплах
  Булгаков А.В., Николаев Г.Ф., Приходько В.Г., Садыков К.С. Структура струи паров вакуумного масла, истекающей из звукового сопла
  Чекмарев С.Ф. Течение и теплообмен в жидкой пленке масла, стекающей по стенке пароструйного вакуумного насоса
  Великанов Е.Г., Куликов В.П. Исследование холодных диффузионных насосов
  Ермолов В.И., Нерушев О.А., Храмов Г.А., Ярыгин В.Н. Диффузионный вакуумный насос на парах водыЕрмолов В.И., Куликов В.П. Холодный диффузионный насос с кумулятивной струейПроккоев В.В., Ярыгин В.Н. Процессы тепломассообмена в элементах крионасосов струйных барокамер(Новосибирск, 1985)
  Аннотация издательства: Знание
  и понимание газодинамических процессов в струях паров рабочих тел имеют
  важное значение для совершенствования средств струйной вакуумной
  откачки, которое до настоящего времени осуществляется, в основном
  эмпирически. Представленные в настоящем сборнике работы посвящены
  экспериментальному, теоретическому и численному исследованию таких
  процессов на основе широкого использования современного опыта
  исследований струй низкой плотности. Материалы сборника охватывают
  следующий круг вопросов: современные тенденции в создании вакуумных
  насосов, кинетические и переносные свойства паров вакуумных масел,
  газодинамика течений в соплах и струях как в плане методов их расчета,
  так и в плане методов диагностики потоков паров высокомолекулярных
  соединений, гидродинамика пленок масла, откачные характеристики струй в
  вакуумных насосах. Значительное внимание уделено исследованию новых
  перспективных средств безмасляной откачки - холодных диффузионных
  насосов.Сборник может быть полезен широкому кругу специалистов,
  занимающихся разработкой и созданием новой струйной вакуумной техники,
  а также научным работникам, аспирантам, инженерам и студентам,
  специализирующимся в области газовой динамики, теплофизики и динамики
  разреженных газов.

• Практические основы техники вакуумных испытаний. [Djv-ZIP] Авторы: В.А.Ланис, Л.Е.Левина. Под редакцией М.И.Меньшикова.
  (М.-Л.: Государственное энергетическое издательство, 1955)
  
  

Аннотация издательства:
Настоящая книга представляет собой практическое руководство по
испытанию вакуумной аппаратуры на герметичность. В ней описываются
основные методы обнаружения течей, подробно излагается методика
течеискания при помощи массоспектрометрического течеискателя ПТИ-4,
даются указания по его эксплуатации и ремонту.
В книге приводится
описание современной вакуумной аппаратуры, даются практические советы
по ее применению. В ней изложен тот минимум основных физических понятий
вакуумной техники, знание которого необходимо для грамотного обращения
с вакуумной аппаратурой.
Материал книги рассчитан на широкий круг
лиц, занимающихся эксплуатацией вакуумного оборудования, а некоторые ее
разделы могут оказаться полезными для инженеров и научных работников,
которым в ходе работы приходится сталкиваться с вопросами получения
высокого вакуума.

• Профессии сжатого воздуха и вакуума. [Djv-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1989)
  
  

Аннотация издательства: Книга
в популярной форме знакомит читателя с многообразием форм использования
сжатого и разреженного воздуха в различных отраслях промышленности, на
транспорте, в сельском хозяйстве, медицине, быту. Показана
универсальность сжатого и разреженного воздуха наряду с электричеством,
в качестве участника многих технологических процессов, включая процессы
получения и переработки информации.
Для широкого круга читателей.

• Механические вакуумные насосы. [Djv-ZIP] [Pdf-ZIP] Авторы: В.Д.Лубенец, В.И.Васильев, И.В.Автономова, Л.А.Беляев.
  (М.: Машиностроение, 1980)
  
  

Аннотация издательства: В
первом разделе лекции - «Насосы для получения низкого и среднего
вакуума» - освещены вопросы конструирования и расчета механических
вакуумных насосов различных типов, приведена их классификация; кратко
описаны конструктивные особенности и принцип действия; дана оценка
перспективы развития серийно выпускаемых вакуумных насосов.
Во
втором разделе «Насосы для получения высокого и сверхвысокого вакуума»
наряду с краткими сведениями по устройству и эксплуатационным данным
выпускаемых и разрабатываемых механических насосов высокого и
сверхвысокого вакуума рассмотрены вопросы классификации, анализа
рабочего процесса, расчета и конструирования перспективных молекулярных
и турбомолекулярных насосов.
Материал лекции рассчитан на
инженерно-технических работников, занимающихся разработкой,
изготовлением и эксплуатацией вакуумных установок, насосов и
оборудования различного целевого назначения.

• Вакуумное оборудование для нанесения пленок. [Djv-ZIP]
  (М.: Машиностроение, 1978)
  
  

Аннотация издательства: Кратко
рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок,
которые находят все большее применение в различных областях науки и
техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники.
Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные
испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких
пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.

• Вакуумные крионасосы. [Djv-ZIP]
  (М.: Энергия, 1976)
  
  

Аннотация издательства: В
книге излагаются физические представления о процессе
криоконденсационной откачки Рассматриваются принципы действия, способы
охлаждения, характеристики и параметры крионасосов. Большое внимание
уделено вопросам конструирования и основам расчета крионасосов
Книга
представляет интерес для широкого круга инженеров и научных работников,
специализирующихся в области вакуумной техники и смежных с ней областях.

• Крионасосы с газовыми холодильными машинами. [Djv-ZIP] Обзорная информация.
  (М.: Цинтихимнефтемаш, 1979. - Криогенное и вакуумное машиностроение. Серия ХМ-6)
  
  

Аннотация издательства: В
обзоре обобщены и систематизированы материалы по разработке и
эксплуатации крионасосов, охлаждаемых газовыми холодильными машинами.
Рассматриваются
принципы действия, способы охлаждения, характеристики, параметры
крионасосов, а также примеры их использования в различных вакуумных
установках.
Обзор составлен по опубликованным отечественным и зарубежным изданиям.
Обзор
представляет интерес для широкого